XPS yaygın olarak kullanılan bir yüzey analiz tekniğidir. Bildiğimiz gibi yüzey atomlardan oluşmakta ve atom çekirdeğinin etrafındaki elektronlar kendi
orbitallerinde farklı enerjilere shiptirler. XPS sisteminde yüzey bir foton kaynağı ile X ışınlarına maruz bırakılır ve bu ışınlar elektronların yörüngelerinden çıkmasına sebep olur. Sistem içerisindeki bir analizör yardımı ile oluşan fotoelektronların kinetik enerjileri ölçülür. Böylece
yüzeylerin kimyasal kompozisyonu kalitatif ve kantitatif olarak ölçülür. | 
Mevcut Sistemler:
Escalab 250
K-Alpha
Multilab 2000
Theta 300
Theta Probe |
